积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%

2024年4月28日
晚间，微导纳米公布2023年报及2024年一季报。2023年全年，公司实现营业收(shōu)入16.80亿元，同比增长145.39%。实(shí)现归母净利润2.70亿(yì)元(yuán)，同比增长399.33%。扣非归母净利润1.88亿元(yuán)，同比增长849.89%。

2024年一季度，微导纳米营业收(shōu)入达(dá)1.71亿元，同(tóng)比增长125.27%；归母净利润达(dá)357.34万(wàn)元(yuán)，相比去(qù)年同期，实现扭亏为盈，公司业务呈现高速增长态势。

报告(gào)期内，得益于微导纳米在薄膜技术领(lǐng)域的不断突破(pò)，以及公司在全球化发展和多元
化布(bù)局上的努力，微导(dǎo)纳米在实现(xiàn)产(chǎn)品工艺优化升级的(de)同时，客户群体(tǐ)覆盖度也在进一步扩大，业务呈现良好发展态势、市场竞争力、运(yùn)营效率持续提升，有力推动了(le)订单规模和经营业绩的持续增长。

坚持ALD+CVD等镀膜(mó)平台化(huà)战略(lüè)，赋能多元化产业发展

微导纳米是 一家面向全球的半导体、泛半(bàn)导体高(gāo)端微纳(nà)装备制造商(shāng)。公司形成(chéng)了以原子层沉积（ALD）技(jì)术(shù)为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜(mó)技术梯次发(fā)展的技(jì)术平(píng)台体(tǐ)系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供尖端薄膜设备、配套产品及(jí)服务。

长期(qī)以来(lái)，微导纳米坚(jiān)持以ALD为(wèi)核心，CVD等(děng)多种真空薄膜技术梯次发展技术(shù)平台体系，凭借在新兴应用领域的(de)前瞻性战(zhàn)略(lüè)布局(jú)，微导纳米(mǐ)开发的薄膜沉积技术及设备，目前已(yǐ)广泛运用于半宁德时代直面C端市场 携新品神行PLUS亮相北京车展导体、光伏及新(xīn)兴(xīng)应用领域，并取得亮眼表现。

在半导体领域(yù)，微导纳(nà)米构建了以ALD为
核心，CVD等多种真(zhēn)空薄膜技术梯次发(fā)展技术平台体系，公司半导体集成电路
产品涵盖逻辑、存储、化(huà)合物半导体、新型显示(shì)等诸多(duō)细分(fēn)应用(yòng)领域。在光(guāng)伏领域，公(gōng)司(sī)ALD设备的市场占有(yǒu)率保持领先，实现了对TOPCon产线真空类设(shè)备的全覆(fù)盖，并在XBC、HJT、钙(gài)钛矿、钙钛(tài)矿叠层等电池技术领域均(jūn)有产品储(chǔ)备、布
局(jú)和出货。在新兴应用领域
，2023年，微导纳米已在光学、柔性电子(zi)、车规级芯片等几(jǐ)个极具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领(lǐng)域开始获(huò)得客户(hù)订(dìng)单(dān)。

得益于ALD+CVD等镀膜平台 化(huà)战略，微导纳米2023年成绩亮眼。业绩报告显(xiǎn)示，2023年，公司新(xīn)增(zēng)订单总额约64.69亿元，是去年同期新增订单(dān)的2.96倍。截止至2024年3月31日，公司在手(shǒu)订单81.91亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单70.26亿元，半导体在手订单11.15亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单0.50亿元。

下游业(yè)务迎(yíng)来突破性发展(zhǎn)，微(wēi)导纳米积极(jí)开拓新兴市场应(yīng)用

在半导体(tǐ)领域，微导纳米是国内(nèi)首家成功将量产型 High-k 原子层沉积(ALD)设(shè)备应用于集成电路制造前道生产(chǎn)线的(de)国产设备厂商。同时，2023年7月，微导纳米首台半导(dǎo)体CVD薄膜沉积设(shè)备顺 利发货至客户端，旨在通过(guò)差异化策略(lüè)开发出市场亟(jí)需的CVD领域高端设备，解决关键工(gōng)艺
的市场空白。

根据SEMI行业统计，ALD约占半导(dǎo)体镀膜板(bǎn)块的11%~13%市场份额，未来(lái)几年将保持高 速增(zēng)长(zhǎng)，复合增长率高达26.3%；CVD约占半导体镀膜板块的57%市场份额，未来几年的复合增长率约为8.9%。

目(mù)前，微导纳米 已(yǐ)经开发工艺包括HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技(jì)术及高(gāo)深宽比3D DRAM、TSV技术等，覆盖(gài)HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等薄膜(mó)材料。

在光伏领域，2023年(nián)11月，微导纳米自主研发的钙钛(tài)矿(kuàng)晶(jīng)硅叠层电池专用ALD量(liàng)产设备，顺 利发至海外客(kè)户。2024年3月，微导纳米成功
研发出首台适(shì)用(yòng)于大面积百兆瓦钙(gài)钛矿
电池 生产的专用量产型原子层沉积(jī)(ALD)设备，并已(yǐ)顺利发货至业内(nèi)领军企业(yè)。

值得一(yī)提的是，报告期内(nèi)，微导纳(nà)米新增立项
多项新(xīn)兴产
业应用项目，分布于柔性镀膜、芯片封装、光学超(chāo)低减反 膜沉积(jī)、新能源等细分(fēn)应(yīng)用领域镀膜环节。截至目前，微导纳米自主研发(fā)的柔性电(diàn)子二(èr)代机、应用于车规级芯片ALD设备以及首(shǒu)台光学领域镀膜设备已顺利发(fā)货，其中车规(guī)级芯片ALD设备出口海外。2024年1月(yuè)，微导纳米创新研(yán)发的(de)ALD量产设备(bèi)顺利发往欧洲(zhōu)某头部芯片封装客户，实现(xiàn)国产高端设备出口海外。

图(tú)：薄膜沉积(jī)技术在(zài)部分新兴领域的
应用(yòng)场景

微导(dǎo)纳米在(zài)财报中表示，公司将继续依托(tuō)产业化应用中心持续探索尖端薄膜沉积技术(shù)在各新兴应用领域(yù)的发展机会，并逐步开展产品应用验证，持续推动新兴产业的(de)技术进步。

持续加码技术研发(fā)，深挖薄膜沉积设备技(jì)术护城河

近年来，微导纳米以
ALD技术为核心(xīn)的薄膜沉积技术(shù)领(lǐng)域形成了(le)多项核心技术和科技成果，并成功将其(qí)应用于主营业务，实(shí)现了科(kē)技(jì)成果与产业的深度融合。与此同时，微导纳米始终坚持自主创(chuàng)新(xīn)、持续加 大研发投入，持续探索技术边界，积(jī)极(jí)应(yīng)对市场需求的变化(huà)，不断拓宽并(bìng)深化在(zài)产(chǎn)业前瞻领域的(de)技术应用(yòng)，力(lì)求实现(xiàn)更广(guǎng)泛的技(jì)术(shù)创(chuàng)新与产业融合。

2023年，微导纳米研发(fā)投入3.08亿(yì)元，占营业收入(rù)比例达18.34%，其中(zhōng)约50%投向半导体领域(yù)，包括逻辑、存储、新型显示器(qì)、化合物半导体等项目；光伏领域(yù)宁德时代直面C端市场 携新品神行PLUS亮相北京车展研发投向包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛(tài)矿叠层电池等新一代高效电池技术等项目。研发(fā)队伍人员不断增(zēng)加，研发人员达到429人，同比增长78.01%。

得益(yì)于公司对研发的(de)重视(shì)及在研发投入上的不断加码，2023年，微(wēi)导纳(nà)米新增各类专利申请146项，新增(zēng)专利授权35项，累(lèi)计授(shòu)权专利达到137项，逐步形成(chéng)了(le)薄膜沉积(jī)反应器设计技术、基于原子层沉 积的高效电池技术、柔性材料制备技术、薄膜封(fēng)装技术等十大核心技术。

凭(píng)借坚持执(zhí)行ALD+CVD等(děng)镀膜平(píng)台(tái)化战略，微导纳米正持(chí)续(xù)在新兴领域进行前沿化开发，为公司未来发展创造(zào)更多收(shōu)入增长极。此外，在技术协同效应进一步显现下，微导纳(nà)米通过跨行(xíng)业的业务分布(bù)，拥有了较(jiào)强的穿越行业周期的能力，公司的抗风险能力得(dé)到进一步提升(shēng)。未来，随着(zhe)其他 新兴(xīng)技术(shù)市场的发展，微导纳米(mǐ)作为平台型的关键设备供应商的优势将进一(yī)步显现(xiàn)。（齐和(hé)宁）

校
对(duì)：苏焕文(wén)

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